1. ‌等离子清洗的基本原理‌‌1

等离子清洗技术通过利用等离子体中的活性粒子（如电子、离子、自由基等）与材料表面的污染物发生化学反应，将其分解为挥发性物质，从而达到清洗的目的。等离子体是一种由气体在电场作用下电离产生的物质，具有高能量和高活性的特点。

2. ‌等离子清洗的分类‌

根据等离子体的产生方式和工作原理，等离子清洗技术可以分为以下几类：

‌射频等离子清洗技术‌：利用射频电源产生的高频电场激发气体分子，使其电离产生等离子体。该技术清洗效果好，适用范围广。

‌微波等离子清洗技术‌：利用微波能量激发气体分子，清洗速度快，但设备成本较高。

‌大气压等离子清洗技术‌：在大气压下产生等离子体，操作简单，但清洗效果相对较差。

‌低温等离子清洗技术‌：在低温下产生等离子体，对材料表面的损伤较小，适用于热敏感材料。