微波是因为电源频率，分别是直流、低频40KHz、射频13.56MHz及本文介绍的微波2.45GHz。

利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行表面处理，达到表面清洁活化的目的。